低温真空探针台主要用于半导体、微电子、固体物理、纳米、超导等研究领域，是研究材料的电阻率、磁电阻等各种物理特性的有力工具，一般用来无损检测样品的电性能，是广泛应用在半导体生产测试过程中。
以下是华创实现成功项目开发的低温真空针探台：
    
　　系统组成
　　? 探针台主体，包括：真空室，探针臂，直流或交流探针、探头电缆等。
　　? 光学系统，包括：显微镜、CCD相机、电光源、彩色监视器等
　　? 低温传输管线，用来把液氦或者液氮从杜瓦传送到探针台中
　　? 控温仪，用来控制样品的温度
　　? 抽真空系统，用来对探针台的真空室抽真空
    ? 磁场系统，包括超导磁体和超导磁体电源
 
　　系统特点
　　? 信号范围直流-67G
　　? 采用液氦和液氮连续流制冷，冷却迅速，同时冷却样品和探针，变温范围1.5K-475K
　　? 可以同时监测样品和探针的温度
　　? 340控温仪
　　? 1.4-475K标定温度计，提供很高的精度
　　? 最大样品范围4英寸
　　? 最大探针行程 125mm x 51mm x 16mm
　　? 原位倾斜  ±5°
　　? 标准配置7：1的显微镜，同时提供12.5：1，16：1高精度的显微镜供用户选择
　　? 系统标准配置包含：显微镜、CCD照相机、光源、彩色监视器
　　? 直流、交流探针的更换简单、方便
　　? 多种探针供用户选择
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